商品情報
株式会社潤工社 ＦＬＵＯＲＯ－Ｘ（フロロエックス） 投込シリーズ チューブコイルタイプ ハイバリアチューブ(AH)
機械・装置・その他
設備・機械 > 熱交換器
製品概要
特長ある各種ふっ素ポリマーチューブをコイル状に加工した熱交換器
用途
● 半導体製造装置・洗浄装置の薬液冷却用途 ● 太陽電池製造装置・洗浄装置の薬液冷却用途
● 液晶製造装置・洗浄装置の薬液冷却用途 ● ケミカルプラントの薬液冷却用途
特徴
酸（塩酸・ふっ酸・硝酸等）及びアンモニアの耐透過性に優れたチューブです。内層のバリア層がプロセス液側からチューブ内側への透過・移行を抑えます。薬液冷却用途において
熱媒体（冷水）のｐH変化などを低減し、配管やポンプなど装置への悪影響を抑制します。
外層のプロセス液側（槽側）は高純度PFAです。